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基于MEMS微热盘技术的微型金属氧化物半导体气体传感器,用于检测空气中的C2H4。传感器的生产结合了MEMS硅衬底技术、薄膜技术、厚膜技术、陶瓷封装技术,专利配方的纳米骨架气体敏感层沉积于微热盘和叉指电极的顶部,从而产生了依赖于有害气体浓度的电导率。
该传感器具有以下特点:
对C2H4高灵敏度(1~4000ppm)
快速响应(~20 Sec.)
非常低的功耗( ~34 mW)
超小型尺寸(3.8mm × 3.8mm × 1.5mm)
长寿命(~ 10年)
长期稳定性
可进行回流焊接
该传感器可广泛应用于:食物新鲜度监测,物联网、可穿戴设备,智能家居